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 WaferSense infiTOF-Duo
KANOMAX

InfiTOF-DUO

InfiTOF-DUO는 직관적인 소프트웨어 인터페이스가 기반인 휴대용 질량 분석기로 분해능이 높습니다.
멀티 턴 기술을 사용함으로써 분해능의 손실 없는 강점과 전통적인 질량 분석기보다 작은 크기로 휴대성이 우수합니다.
컴팩트한 사이즈로 기존에 하지 못했던 현장 테스트 및 정확한 질량 측정을 통한 실시간 모니터링의 Impurity 분석에 적합합니다.

- Hi-Resolution & Compact TOF-MS down

- Long-term monitoring for trace gases by using InfiTOF down

- In situ monitoring of Ga(CH3)3 reaction with HCl down
infiTOF-Duo
Resolution(FWHM) >30,000(max 60,000)
Mass range 1-1,000 m/z
Ion-soure EI(Electron Ionization/Positive)
Sensitivity 132Xe(30ppb in air) S/N>10
Mass accuracy <0.002u (Internal Std)
<0.005u (External Std)
Data recording speed >50 m/s
Dimensions(mm) W270 x H460 x D550
Weight 39kg

InfiTOF-DUO

  • High-Resolution 독창적인 멀티 턴 기술로 실현된 휴대용 크기의 TOF(Time of Flight) 질량 분석기입니다.
  • 휴대용 TOF-MS는 고정밀, 고해상도 및 실시간 분석을 수행합니다.
  • 멀티 턴 기술을 사용함으로써 전통적인 질량 분석기보다 현저히 작은 사이즈를 자랑합니다.
  • 분해능의 손실 없이 휴대성을 확보한 이 제품은 기존에 하지 못했던 현장 실시간 테스트 및 무선 동작의 가능성을 열어 주었습니다.

응용 분야

  • 반도체 제조 공정 가스 모니터링
  • Air 및 고순도 가스의 미량 성분 분석
  • 연료 전지 수소 가스 오염 분석
  • 연소 가스 분석
  • 동위 원소 분석

기술자료 - Technical Information

kanomax

손바닥 크기의 광학 벤치에는 4개의 궤도 전극과 2개의 주입/배출 전극이 있습니다.
이온 소스는 무한 루프에서 궤도 운동을 위한 운동 에너지를 제공합니다.
주입/배출 전극은 이온 소스 펄스 트리거링과 동기화됩니다.
이온이 분석기로 들어가는 동안 주입 전극은 ON 상태여야 하며, 첫 번째 이온(가장 작은 이온)이 분석기로 돌아오기 전에 꺼져야 합니다.
선회 전극은 일정하므로 방출 전극이 켜질 때까지 선회 이온을 유지할 수 있습니다.

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다중 반사-TOF와 같은 동일한 종류의 기술이 존재하지만, 일반적으로 감도와 분해능 사이에 측정 가능한 절충점이 있습니다. 특허받은 멀티 턴 방식은 "완벽한 초점“을 구현했으며, 진공 상태에서 평균 자유 경로 이온 손실률은 턴 당 약 1~2%입니다.

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