NORDSON
NORDSON(한국대리점)
WaferSense제품은 2004년 ALS(Auto Leveling System)을 시작으로 AVS(Auto Vibration System), AGS(Auto Gapping System) 그리고 최근에 개발된 APS(Airborne Particle System), AMS(Auto Multi System), ATS2(Auto Teaching System), AVLS3(Auto Vibration Leveling Sensor) Reticle Sense까지 반도페 제조 장비에 대한 계측과 솔루션을 제공하고 있으며, 2023년 기준으로 전세계에 약 8,350 System이 판매 되었습니다.
- 엄격한 검증을 거쳐 시장의 선택을 받은 제품
- - 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들이 양품수율 향상, 설비 가동시간 증가 및 처리량 증대를 위해 CyberOptics 무선 측정 장치 선택
- - 여러 OEM 기업들이 장비 표준에 WaferSensetm와 Reticle Sense® 장치를 BKM(Best Known Method)로 채택하여 반드시 사용하도록 권고하고 있으며, 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움
- 최고의 효율성과 효과
- - 웨이퍼 또는 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능
- - 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공
WaferSense®
AGS
APS3
AMS
ARS
AVLS
ATS2
| Item | Description | Size | Down |
|---|---|---|---|
| AGS 자동 간극 측정 시스템 |
박막 증착, 스퍼터링, 식각 등의 반도체 공정에서 샤워헤드와 하부전극 사이의 간격을 비접촉식으로 측정하여 간격을 일정하게 조절할 수 있는 센서 | 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| ATS2 자동 티칭 시스템 |
센서 중앙에 상/하로 달린 고정밀 카메라를 이용하여 웨이퍼가 놓여지는 포지션 중앙으로 부터의 실시간 Image와 수치 Data로 표현하여 최대 100um의 정확도로 Robot을 Teaching 할 수 있는 센서 |
200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| APS 파티클 측정 센서 |
대기에 부류중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| AMS 자동 멀티 센서 |
더 얇고 가벼운 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서 기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다. MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다. |
150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| ARS 자동 저항측정 시스템 |
Kelvin 방식을 활용하여 Wafer 둘레(Edge)에 50개의 개별 측정 패드를 사용하여 Low-value 저항의 정확한 측정 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| AVLS 자동 레벨링,진동 측정 시스템 |
얇고 가벼운 멀티센서로 진동, 레벨링 측정이 가능한 센서 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
ReticleSense®
ATSR
AMSR
APSR
APSRQ
| Item | Description | Size | Down |
|---|---|---|---|
| ATSR 레티클 타입 자동 티칭 시스템 |
레티클 형태의 티칭 측정 센서로 센서에 중앙 상/하로 달린 고정밀 카메라를 이용하여 웨이퍼가 놓여지는 포지션 중앙으로 부터의 실시간 Image와 수치 Data로 표현하여 최대 100um의 정확도로 Robot을 Teaching 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| APSR 레티클 타입 파티클 측정 센서 |
레티클 형태의 파티클 측정 센서 대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| APSRQ 레티클(쿼츠) 타입 파티클 측정 센서 |
쿼츠 재질로 된 레티클 형태의 파티클 측정 센서 대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| AMSR 레티클(쿼츠) 타입 자동 멀티 센서 |
Quartz 재질의 레티클 형태의 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서 기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다. MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다. |
6" x 6" | down |
IPS (In-line Particle Sensor)
IPS (In-line Particle Sensor)
| Item | Description | Down | IPS In-line Particle Sensor |
IPS는 고출력 청색 레이저를 사용하여 빠르게 미립자의 문제 해결/모니터링/식별을 하며 EUV 및 기타 반도체 공정 장비에서 가스 및 진공 라인 내의 파티클을 0.14μm 까지 측정 | down |
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