NORDSON & CYBEROPTICS
NORDSON&CYBEROPTICS (한국대리점)
WaferSensetm제품은 2004년 ALS(Auto Leveling System)을 시작으로 AVS(Auto Vibration System), AGS(Auto Gapping System),ATS(Auto Teaching System) 그리고 최근에 개발된 APS(Airborne Particle System), AMS(Auto Multi System), Reticle Sense® 까지 반도페 제조 장비에 대한 계측과 솔루션을 제공하고 있으며, 2017년 기준으로 전세계에 약 3,300 System이 판매 되었습니다.
- 엄격한 검증을 거쳐 시장의 선택을 받은 제품
- - 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들이 양품수율 향상, 설비 가동시간 증가 및 처리량 증대를 위해 CyberOptics 무선 측정 장치 선택
- - 여러 OEM 기업들이 장비 표준에 WaferSensetm와 Reticle Sense® 장치를 BKM(Best Known Method)로 채택하여 반드시 사용하도록 권고하고 있으며, 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움
- 최고의 효율성과 효과
- - 웨이퍼 또는 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능
- - 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공
WaferSense®
AVS
AGS
APS2
AMS
ARS
AVLS
ATS2
ALS2
| Item | Description | Size | Down |
|---|---|---|---|
| AVS 자동 진동 측정 시스템 |
설비 내부에서 웨이퍼가 반송되는 동안 발생되는 진동이 웨이퍼에 어떤 영향을 주는지를 확인 할 수 있는 자동 진동 측정 시스템. X, Y, Z 3축에 대한 가속 및 진동 측정이 가능하며, 소프트웨어를 통해 실시간으로 확인 가능 | 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| ALS 자동 레벨링 시스템 |
웨이퍼가 놓여지는 포지션에서의 레벨링을 확인 할 수 있는 레벨링 측정 시스템. 그래픽 및 수치를 통해 실시간으로 확인 및 교정 가능 수평면에 대한 레벨링은 물론 옵션으로 수직에 대한 측정도 가능 |
150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| AGS 자동 간극 측정 시스템 |
박막 증착, 스퍼터링, 식각 등의 반도체 공정에서 샤워헤드와 하부전극 사이의 간격을 비접촉식으로 측정하여 간격을 일정하게 조절할 수 있는 센서 | 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| ATS2 자동 티칭 시스템 |
센서 중앙에 상/하로 달린 고정밀 카메라를 이용하여 웨이퍼가 놓여지는 포지션 중앙으로 부터의 실시간 Image와 수치 Data로 표현하여 최대 100um의 정확도로 Robot을 Teaching 할 수 있는 센서 |
200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| APS 파티클 측정 센서 |
대기에 부류중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| AMS 자동 멀티 센서 |
더 얇고 가벼운 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서 기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다. MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다. |
150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| ARS 자동 저항측정 시스템 |
Kelvin 방식을 활용하여 Wafer 둘레(Edge)에 50개의 개별 측정 패드를 사용하여 Low-value 저항의 정확한 측정 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
| AVLS 자동 레벨링,진동 측정 시스템 |
얇고 가벼운 멀티센서로 진동, 레벨링 측정이 가능한 센서 | 150mm(6"), 200mm(8"), 300mm(12") |
down |
ReticleSense®
ATSR
AMSR
APSR
APSRQ
| Item | Description | Size | Down |
|---|---|---|---|
| ATSR 레티클 타입 자동 레벨링 시스템 |
레티클 형태의 티칭 측정 센서로 센서에 중앙 상/하로 달린 고정밀 카메라를 이용하여 웨이퍼가 놓여지는 포지션 중앙으로 부터의 실시간 Image와 수치 Data로 표현하여 최대 100um의 정확도로 Robot을 Teaching 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| APSR 레티클 타입 파티클 측정 센서 |
레티클 형태의 파티클 측정 센서 대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| APSRQ 레티클(쿼츠) 타입 파티클 측정 센서 |
쿼츠 재질로 된 레티클 형태의 파티클 측정 센서 대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 |
6" x 6" | down |
| AMSR 레티클(쿼츠) 타입 자동 멀티 센서 |
Quartz 재질의 레티클 형태의 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서 기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다. MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다. |
6" x 6" | down |
IPS (In-line Particle Sensor)
IPS (In-line Particle Sensor)
| Item | Description | Down | IPS In-line Particle Sensor |
IPS는 고출력 청색 레이저를 사용하여 빠르게 미립자의 문제 해결/모니터링/식별을 하며 EUV 및 기타 반도체 공정 장비에서 가스 및 진공 라인 내의 파티클을 0.14μm 까지 측정 | down |
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