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 WaferSense
CYBEROPTICS

CYBEROPTICS (한국대리점)

WaferSensetm제품은 2004년 ALS(Auto Leveling System)을 시작으로 AVS(Auto Vibration System), AGS(Auto Gapping System),ATS(Auto Teaching System) 그리고 최근에 개발된 APS(Airborne Particle System), AMS(Auto Multi System), Reticle Sense® 까지 반도페 제조 장비에 대한 계측과 솔루션을 제공하고 있으며, 2017년 기준으로 전세계에 약 3,300 System이 판매 되었습니다.

엄격한 검증을 거쳐 시장의 선택을 받은 제품
- 전세계 주요 반도체 팹 및 장비 OEM 기업들이 양품수율 향상, 설비 가동시간 증가 및 처리량 증대를 위해 CyberOptics 무선 측정 장치 선택
- 여러 OEM 기업들이 장비 표준에 WaferSensetm와 Reticle Sense® 장치를 BKM(Best Known Method)로 채택하여 반드시 사용하도록 권고하고 있으며, 초소형 칩 형상에 요구되는 높은 정밀도 및 정확성 향상에 도움
최고의 효율성과 효과
- 웨이퍼 또는 레티클 형태의 무선 계측기를 통해 동선에 구애 받지 않고 이동이 가능하여 기존에 접근하기 어려웠거나 불가능한 위치까지 모니터링 가능
- 기존 방법에 비해 시간과 비용을 절감하면서 정확하고 정밀하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공

WaferSense®

  • AVSAVS
  • AGSAGS
  • APS2APS2
  • AMSAMS
  • ARSARS
  • AVLSAVLS
WaferSense
Item Description Size Down
AVS
자동 진동 측정 시스템
설비 내부에서 웨이퍼가 반송되는 동안 발생되는 진동이 웨이퍼에 어떤 영향을 주는지를 확인 할 수 있는 자동 진동 측정 시스템. X, Y, Z 3축에 대한 가속 및 진동 측정이 가능하며, 소프트웨어를 통해 실시간으로 확인 가능 200mm(8"),
300mm(12")
down
ALS
자동 레벨링 시스템
웨이퍼가 놓여지는 포지션에서의 레벨링을 확인 할 수 있는 레벨링 측정 시스템.
그래픽 및 수치를 통해 실시간으로 확인 및 교정 가능
수평면에 대한 레벨링은 물론 옵션으로 수직에 대한 측정도 가능
150mm(6"),
200mm(8"),
300mm(12")
down
AGS
자동 간극 측정 시스템
박막 증착, 스퍼터링, 식각 등의 반도체 공정에서 샤워헤드와 하부전극 사이의 간격을 비접촉식으로 측정하여 간격을 일정하게 조절할 수 있는 센서 200mm(8"),
300mm(12")
down
ATS
자동 티칭 시스템
센서 중앙에 달린 고정밀 카메라를 이용하여 웨이퍼가 놓여지는 포지션 중앙으로 부터의 실시간 Image와 수치 Data로 표현하여 최대 100um의 정확도로 Robot을 Teaching 할 수 있는 센서 200mm(8"),
300mm(12")
down
APS
파티클 측정 센서
대기에 부류중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서 150mm(6"),
200mm(8"),
300mm(12")
down
AMS
자동 멀티 센서
더 얇고 가벼운 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서
기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다.
MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다.
150mm(6"),
200mm(8"),
300mm(12")
down
ARS
자동 저항측정 시스템
Kelvin 방식을 활용하여 Wafer 둘레(Edge)에 50개의 개별 측정 패드를 사용하여 Low-value 저항의 정확한 측정 150mm(6"),
200mm(8"),
300mm(12")
down
AVLS
자동 레벨링,진동 측정 시스템
얇고 가벼운 멀티센서로 진동, 레벨링 측정이 가능한 센서 150mm(6"),
200mm(8"),
300mm(12")
down

ReticleSense®

  • ALSRALSR
  • AMSRAMSR
  • APSRAPSR
  • APSRQAPSRQ
ReticleSense
Item Description Size Down
ALSR
레티클 타입
자동 레벨링 시스템
레티클 형태로 설비에서 레티클이 놓여지는 위치의 레벨링을 무선으로 확인 할 수 있는 레벨링 측정 시스템 그래픽 및 수치를 통해 실시간으로 확인 및 교정 가능 6" x 6" down
APSR
레티클 타입
파티클 측정 센서
레티클 형태의 파티클 측정 센서
대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서
6" x 6" down
APRSQ
레티클(쿼츠) 타입
파티클 측정 센서
쿼츠 재질로 된 레티클 형태의 파티클 측정 센서
대기에 부유중인 파티클을 센서 상부의 팬을 통해 흡입하여 광산란(Laser Scattering) 방식을 이용하여 파티클의 크기와 수량을 1초 단위로 실시간으로 모니터링 할 수 있는 센서
6" x 6" down
AMSR
레티클(쿼츠) 타입
자동 멀티 센서
Quartz 재질의 레티클 형태의 올인원 멀티센서로 진동, 레벨링, 습도 측정이 가능한 센서
기존 제품 보다 높은 온도에서 사용이 가능하고, 동시에 세 가지 기능의 데이터 측정이 가능하기 때문에 측정 시간 및 교정 시간을 줄여 줄 수 있다.
MultiView, MultiReview 소프트웨어가 제공 됩니다.
6" x 6" down
IPS
(In-line Particle Sensor)
IPS는 고출력 청색 레이저를 사용하여 빠르게 미립자의 문제 해결/모니터링/식별을 하며 EUV 및 기타 반도체 공정 장비에서 가스 및 진공 라인 내의 파티클을 0.14μm 까지 측정 6" x 6" down

IPS (In-line Particle Sensor)

  • IPS (In-line Particle Sensor) IPS (In-line Particle Sensor)
IPS
Item Description
IPS
In-line Particle Sensor
IPS는 고출력 청색 레이저를 사용하여 빠르게 미립자의 문제 해결/모니터링/식별을 하며 EUV 및 기타 반도체 공정 장비에서 가스 및 진공 라인 내의 파티클을 0.14μm 까지 측정
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