KANOMAX FMT
STPC3(Scanning Threshold Particle Counter 3)
LNS(Liquid Nanoparticle Sizer)
STPC3
Model 9010-03는 3nm 초순수 액체 입자 및 희석 용매 품질을 모니터링하고 정밀하게 측정하는 계측기입니다.
입자 농도에 매핑된 액체 내 광산란 방식이 아닌 분무 + 응축 입자 계수 방식으로 STPC3(Scanning Threshold Particle Counter 3)의 고유 기술입니다.
동일한 STPC3의 교차 성능 검증을 통해 3개 크기 채널(3,9,15nm) 모두에서 우수한 단위 대 단위 일치가 확인된 제품입니다.
Kanolysis 소프트웨어 플랫폼은 일체형 제어, 자동 샘플링 시퀀스, 실시간 데이터 분석 기능을 통합하여 제공합니다.
유연성 있는 시스템과 스마트한 워크 플로우 자동화 기능을 통해 생산성 향상에 기여할 수 있습니다.
STPC3 Comparison to Optical Particle Counters-
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STPC3 Non-Volatile Residue
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STPC3 Particle Precursor Response
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| Threshold sizes | 3, 9, 15 nm |
| Number of size channels | 1-3 (user configurable) |
| Dead time between channel adjustment | 5 minutes |
| Total flow rate | 50-280 mL/min |
| Response time to concentration change | <30 seconds |
| Inlet water pressure (online) | 200-500 kPa (30-70 psig) |
| Compressed air/nitrogen flow rate/pressure | 2.5 std L/min CDA or Nitrogen,340-410 kPa (50-60 psi) ANSI IS08573-1:2010 Class 2 for compressed air |
| Wetted surface materials before nebulization | PFA, PTFE, PEEK, sapphire |
| Detector working fluid | Reagent-grade (or better) n-Butyl alcohol |
| Working fluid consumption rate | Approximately 150 mL/day (bottle lasts for one week when cycling all three channels) |
| Ambient temperature range | 0-85% |
| Maximum water temperature | 50°C (122°F) |
| Dimensions (W × D × H) | 42 × 43 × 27 (43 with bottle) cms, 16.7 × 16.8 × 10.5 (16.8 with bottle) inches |
| Weight | 16.1 Kg (35.5 lbs) |
| Power (Nebulizer) | Universal 100-240 VAC, 50/60 Hz, 90 W max |
| Power (CPC) | Universal 100-240 VAC, 50/60 Hz, 210 W max |
| Communication Interfaces | Ethernet, Wi-Fi, USB, Analog 4 – 20 mA |
| Internal storage | Micro SD |
| Ultrapure water inlet | ¼ inch PFA Flaretek® |
| Waste outlet | ¼ inch SS Swagelok® |
| Compressed air inlet | ¼ inch SS Swagelok® |
| Detector vacuum | ¼ inch SS Swagelok® Port |
| Display | 7 inch TFT Color, touch panel |
| Shipping drain | Colder brand quick disconnect |
기술 자료 - Technical Information
- 하이드로졸 샘플 내의 입자는 에어로졸화되어 CDA 또는 N2에 분산됩니다.
- 수축 오리피스를 통해 하이드로졸이 분무되고 첫 번째 임팩터를 거쳐 에어로졸 입자의 간섭을 줄입니다.
- 두 번째 임팩터를 통해 기체 흐름에 증기로 다시 도입되어 최종 에어로졸의 수증기압에 기여합니다.
- 분무된 샘플 스트림은 가열된 튜브(50-120℃)로 들어갑니다.
- 증발 후 방울 내의 NVR(Non Volatile Residue)은 PNVR(Precipitated Non Volatile Residue) 로만 구성된 입자 또는 PNVR 코팅이 있는 하이드로졸 입자로 남습니다.
- 증발 및 담금질 후 생성된 에어로졸은 맴브레인형 건조기를 통과하여 운반 가스의 이슬점을 낮춥니다.
- 그다음 에어로졸은 뷰탄올 증기를 응축하는 CPC(Condensation Particle Counter)에 의해 샘플링됩니다.
- Saturation Ratio, S의 값을 변경하여 감지된 최소 입자 크기를 조정하고 콜드 섹션의 온도를 변경하면 S의 크기가 변경되어 임계 입자 직경을 감지합니다.
6주간 STPC3 제품 교차 성능 검증
- STPC3 2EA UPW 사용 및 실시간 액체 품질 모니터링 진행
- 3개 채널(3,9,15nm) 액체 입자의 동일한 Trend 관찰
- 우수한 단위 대 단위 일치 검증 완료
LNS
Model 9310은 나노 클로이드 사이즈(6~562nm)의 특성을 정확하고 빠르게 측정하는 계측기입니다.
보편적인 상대 입자 농도가 아닌 실제 수 농도를 측정하는 방식으로 LNS(Liquid Nanoparticle Sizer) System의 고유 기술입니다.
Kanolysis 소프트웨어 플랫폼은 일체형 제어, 자동 샘플링 시퀀스, 실시간 데이터 분석 기능을 통합하여 제공합니다.
유연성 있는 시스템과 스마트한 워크 플로우 자동화 기능을 통해 생산성 향상에 기여할 수 있습니다.
- LNS
- - Liquid Nanoparticle Sizer(LNS) System Brochuresdown
- Post CMP Clean Effluent Endpointing and Monitoring with the LNS System ICPT 2019 Kanomax FMT down
- ICPT CMPUG 2018 Kanomax FMT A New Method for Determining the Size Distribution of Particles in CMP Slurries down
- A New Nanoparticle Characterization Technology for CMP Slurries(SEMICON China 2019 - Kanomax FMT) down
CMP Slurry Characterized with the LNS System-
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Filter Performance Testing
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Resin Rinse Benchmarking
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| Particle size range | 6-316 nm (high resolution), 10-562 nm (wide range) |
| Particle size resolution | 64 channels per decade of size (high resolution), 32 channels per decade of size (wide range) |
| Measurement time | <5 minutes |
| Inspection volume rate | 0.2-1.0 μL/min |
| Total liquid sample flow rate(online) | 50-200 mL/min |
| Dilution factor range | 50-20,000 |
| Sample conc. Range(post offine and/or online dilution) | 3E7-3E11 number/ml |
| Sample percent solids(post offine and/or online dilution) | 10 ppm maximum |
| Response time to concentration change | <90 seconds |
| Inlet water pressure(online) | 200-300 kPa (30 - 45 psig) |
| Compressed air flow rate/pressure | 2.5 std L/min CDA or Nitrogen 2.8 bar (50 - 60 psi) |
| Wetted surfaces(before nebulization) | PFA, PTFE, sapphire, 316L stainless steel, PEEK |
| CPC working fluid | n-butyl alcohol (butanol) |
| I/O Communications | Ethernt, internal memory |
| Power requirements | 100/115/220/240 VAC; 50-60 Hz |
| Operating temperature | 10-35℃ |
| Operating humidity | 0-90% RH non-condensing |
| Storage temperature | 5-35℃ |
| Dimensions | 10x9x36 inches (D/W/H) (not including peristaltic pump) |
| Software - computer operating system | Windows 10 |
기술 자료 - Technical Information
- 액체 콜로이드 현탁액의 샘플은 NPN(NanoParticle Nebulizer)에 주입됩니다.
- 샘플이 분무되고 여러 입자를 포함할 수 있는 가장 큰 물방울이 제거됩니다.
- 분무 된 샘플은 물을 증발시키기 위해 가열되어 운반 가스에 부유하는 입자의 에어로졸을 남깁니다.
- 에어로졸 입자는 안전하고 신뢰할 수 있는 소프트 X선 충전기를 사용하여 전기적으로 충전됩니다.
- AFIMC(Annular Flow Ion Mobility Classifier)는 다양한 전기장 강도를 사용하여 좁은 크기 대역의 입자를 체계적으로 선택하여 FastCPC(Condensation Particle Counter)에 전달합니다.
- 선택한 크기 대역의 입자 농도를 즉시 계산하고 동적 농도 범위가 3배 이상인 개별 입자를 감지합니다.
통합 소프트웨어 플랫폼 – Kanolysis
- LNS 시스템의 일체형 제어
- 자동 샘플링 시퀀스
- 실시간 데이터 분석