제품 CT100는 핸드형인 Nano Contamination Tracker로 농도가 아닌 수농도를 계측할 수 있는 계측기이며, Hand형으로 FAB안에서 Daily로 장소에 구애받지않고, 측정할 수 있는 장점을 보유하고 있습니다.
아울러, 수농도를 계측하고, 포집해서 어떤 성분이 존재하는지 파악할 수 있는 강점이 있습니다.
CT100은 자체보유한 나노 센싱기술을 이용하여, 반도체공정에서 생산불량을 일으킬 수 있는 나노오염 물질을 감시하는 서비스와 제품을 EUV급 반도체생산 팹, 생산 장비 그리고 생산 원료를 공급하는 미래 고객들에게 필요성 높은 제품입니다.
제품 CT100은 나노파티클 입자 계수와 원소 샘플링 등의 솔루션들을 제공드리며, 제품을 통해 나노 입자 계수, 미량 금속 수집, 미량 화학물질 수집 기능을 갖춘 세계 최초의 이동식 종합 샘플러입니다.
실시간 나노 입자 계수, ICP-MS 및 GC-MS와 같은 후처리를 통한 미량 금속및 가스 원소 분석 등 반도체 FAB 모니터링에 필요한 기능을 제공하여 파티클 내 성분 분석을 통해 표적 소스의 성분과 존재 여부를 확인하실 수 있습니다.
제품 Data sheet
| Nanoparticle Counting | |
| Particle Counting Principal | Water-based condensation particle counting |
| Particle Size Range | 4.5 nm (Dso with Hydrophilic NaCl particles) to ≥ 3 μm |
| Particle Counting | Single particle counting with coincidence correction |
| Particle Counting Range | 0 to 2.0x 105 particle/cm3 (0 to 2.0x1011 particle/m3) |
| Counting Accuracy | +10% |
| Response Time | ≤ 0.5 second |
| Sampling Frequency | 0.1-1.0 second |
| Report Frequency | 1.0 second |
| Sampling Flow rate | 0.3 l/min +10% |
| Flow Driven Source | Internal micro diaphragm pump |
| Mobile Sustainability | ±6g |
| Operation Hour | 6 hours continuous operation powered by battery |
| Element Sampling | |
| Sampling Principal | Condensational diffusion |
| Collection Capability | Particle: less than 1 nm, Trace metal and ion: less than 1 nm, Trace organic and inorganic chemical: both polar and non-polar chemical |
| Collection Efficiency | Particle: >90%, Trace metal and ion: >90%, Trace organic chemical: Varied |
| General | |
| Data Transfer | USB and Bluetooth |
| Data | Particle concentration, Local time Greenwich Mean Time (GMT), Geolocation, Elevation, Picture, Video, Text |
| Dimensions (H x W xD) | 7 x 12 x 19 cm including Li-Po battery and water chamber + Collector tube |
| Weight | 1.1 kg including Li-Po battery and water chamber |
| Operation environment | Relative Humidity: 10 - 99%, Temperature: 10 to 40 °C |
| Operation Hour | 6 hours continuous operation powered by battery |
제품 구성
CT100은 공기 중 4.5nm 크기까지의 나노입자를 응축 기술을 이용해 Growth 시킨 후, 광산란 기반 레이저 센서를 통해 계측 가능한 크기로 Growth된 입자를 실시간으로 계수합니다. 동시에 Growth된 입자를 포집하여, 이후 정밀 원소 분석을 위한 시료 확보가 가능합니다.
Application
CT100은 하나의 제품으로 FAB 내부에서 4.5nm 수준의 나노 입자 이상을 실시간 계수하고, 포집된 시료를 통해 주요 화학 또는 금속 성분을 후처리 분석기기(예: ICP-MS 등)로 정밀 확인할 수 있습니다. 이를 통해 이슈 설비 및 원인 물질을 식별하고, 공정 개선을 위한 실질적 솔루션을 제공합니다.