IonTamerTM cPS
IonTamerTM PS
IonTamerTM는 실시간 고분해능과 뛰어난 감도로 모니터링하는 비행시간 잔류 가스 분석기(TOF-RGA)입니다.
세계 최초 Time-of-flight 기반 신규 모델이 적용된 IonTamerTM는 고성능의 TOF-MS를 소형화하여 상용화한 직관적인 제품입니다.
인라인/온라인/원격 운용 및 완전히 제어되고 작동하는 소프트웨어로 데이터 분석, 시각화, 데이터 베이스 저장을 통합하여 제공합니다.
분석 파라미터 연동이 가능한 인터페이스로 스마트 팩토리 시스템을 정밀하게 구현할 수 있습니다.
Cl2 Plasma Etching of Silicon Wafer
Analysis of Heavy Masses
| Resolution(FWHM) | 1,200m/Δm at Xe (ambient temperature) |
| Mass range | 1-1,200u/e |
| Ion-soure | EI(Electron Ionization) |
| Sensitivity | <0.1ppm |
| Dynamic range | >107 |
| Integration time | ≥100ms Continuously without dead time |
| Dimensions(mm) | W525 x H671 x D285(PS) |
| Weight | <25kg(Analyzer) <3.5kg(Electronics) |
IonTamerTM
- High-Performance 실시간 고분해능과 뛰어난 감도로 모니터링하는 비행시간 잔류 가스 분석기(TOF-RGA)입니다.
- 세계 최초 Time-of-flight 기반 신규 모델이 적용된 고성능의 TOF-MS를 소형화하여 상용화한 직관적인 제품입니다.
- 인라인/온라인/원격 운용 및 완전히 제어되고 작동하는 소프트웨어로 데이터 분석, 시각화, 데이터 베이스 저장을 통합하여 제공합니다.
- 분석 파라미터 연동이 가능한 인터페이스로 스마트 팩토리 시스템을 정밀하게 구현할 수 있습니다.
응용 분야
- 반도체 제조 공정 가스 모니터링
- Air 및 고순도 가스의 미량 성분 분석
- 연료 전지 수소 가스 오염 분석
- 연소 가스 분석
- 동위 원소 분석
기술자료 - Technical Information
큰 m/z 값을 가지는 이온이 작은 m/z 값을 가지는 이온보다 늦게 검출기에 도달하게 됩니다. 하지만 질량은 같지만 운동에너지가 다른 두 시료를 튜브 끝에 이온과 반대의 전하를 띄는 거울이 있어서 속도가 높은 시료가 drift tube에 더 깊이 들어가서 두 시료의 속도 차이를 줄여줄 수 있습니다. 그래서 Reflector-TOF analyzer를 사용할 경우, LinearTOF analyzer보다 더 높은 분해능(Resolution)을 보여줍니다.
IonGazer는 IonTamerTM의 중앙 제어, 측정 데이터의 실시간 시각화, 저장소에 대한
데이터 스트림 기록 및 실시간 데이터 분석을 위한 대화형 데스크톱 사용자 인터페이스
소프트웨어입니다.
IonTamerTM Library라이브러리는 옵션으로 사용할 수 있으며 IonTamerTM의 데이터 스트림을 고객의 애플리케이션 및 데이터 파이프라인에 통합할 수 있도록 데이터 처리 알고리즘 및 사용 예를 제공합니다.