MOMENTIVE
Crucible
Momentive fused quartz crucible은 각 고객들의 다양한 요구사항들과 용도들에 따라 구성, 디자인, 코팅 등을 제공합니다. 각 산업에서 요청되는 엄격한 순도 기준을 충족할 수 있으며 최적화 된 제조원가를 위해 요구되는 Ingot의 성장 수율, Attempt 생산성, Crucible의 Life time 뿐만 아니라 특정 미세 오염 문제도 해결할 수 있습니다.
- 적용분야
- 반도체 및 태양광 Wafer 제조용
- 특징
- - 합성 도가니 (외경 24"/28"/32"), 세계 Top 반도체 Wafer 제조사 양산 적용 제품
- 코팅 도가니, Ba 코팅 특허 보유로 탁월한 성장 수율
- 외경 14"/16"/18"/20"/28"/32"/36" 제조 가능 (국내 36” 공급 이력 보유)
| Type | 특 성 | 용 도 |
|---|---|---|
| 510, 530, 532 Crucible | 고순도 불투명도가니로 고광택의 내부면과 흰색의 소입상태의 외부면을 지님 |
반도체산업에서 단결성 실리콘을 생성시키는데 사용됨 |
| 567, 588, 541 Crucible | 알카리 성분을 ppb의 단계로 떨어뜨린 초고순도 불투명 도가니 |
초 低결점을 지녀야 하는 웨이퍼를 위한 단결정 실리콘을 생성시키는데 사용함. |
Tube/Rod
- 적용분야
- 반도체, 광섬유 및 Lamp 제조용
- 특징
- - 저 수신기 및 뛰어난 수치 공차를 지님
- 내열성 및 내화학성이 뛰어남
- 초고순도의 Sio2
| Type | 특 성 | 용 도 |
|---|---|---|
| 214 Tubing | 산업표준 공정급 투명 쿼츠 자재, 경제적이며 모든 종류의 크기가 갖추어져 있다. 저수산기와 엄격한 수치적 공차를 지니며 뛰어난 외관적, 온도적, 기계적인 특성을 지님 | 수은램프, 쿼츠할로겐램프, 고성능고온램프와 고온용온도계, 쿼츠도파관, 그외 고내열성 제품들 |
| 214LD Tubing | 214형과 똑같이 우수한 특성을 지닌 투명 쿼츠지만 보다 큰 직경을 필요로 하는데 쓰임 | 반도체 산업에서 확산, 산화, LPCVD 공정에 사용됨 |
| 219 Tubing | 강한 자외선을 차단하기 위한 Titanium Dioxide를 첨가한 투명쿼츠, 외관적, 수치적 특징은 214종류와 똑같으며 온도적, 물리적 특징들은 비슷하다. 보통 살균 혹은 무(無)오존 쿼츠로 불린다. | 살균범위내의 자외선 침입은 요구되나 강한 자외선이나 오존발생은 피해야 하는 살균램프 및 기타 UV lamp. |
| 224 Tubing | 214형과 같은 뛰어난 높은점성과 외관적 표준을 지니고 있다. 특수한 공법으로 알카리 함유량을 ppb범위까지 낮추었다. | 알카리성분이 Chip수율에 큰 영향을 미치는 고집적 반도체의 확산 및 CVD공정 |
| 224LD Tube & Rod | ||
| 244 Tubing 244LD Tube & Rod |
224형과 비슷하나 저 알루미늄 제품임 | 저알루미늄 성분의 쿼츠를 필요로하는 공정 |
| 254 Tubing | 가시광선은 통과시키면서 자외선B를 흡수하도록 자외선 차단 세륨을 첨가한 투명 용융쿼츠 | 할로겐과 방전램프를 사람이나 사물에 자외선으로 노출위험을 줄 수 있는 자외선에 민감함 고내열성 제품, 자외선 차단을 위한 코팅제, 필터 그리고 렌즈의 필요성을 없앰 |
| 021 Tubing | 높은자외선 투과성과 초고순도를 지닌 투명 인조실리카, 자외선을 최대한 투과시키며 햇빛노출에 최대의 저항성을 제공함, 저수산기 성분을 포함해 뛰어난 외관적, 온도적, 물리적, 치수적 특성을 지님 | 자외선과 오존을 발생하는 램프의 덮개와 투관, 치료용, 화학공정용, 살균용램프, 반도체 용도, 햇빛노출감지 용도로 쓰임 |
| 214ROD | 투명쿼츠 봉으로 최소한의 기공선(Air Line)과 고순도의 화학적 성분과 우수한 수치적 정확성을 지님 | 반도체산업에서 Wafer 운반용 Carrier및 Boat 등에 쓰임 |
| 214A, 219A, 254A ROD | 다른 표준종류의 것들과 똑같으나 수산기와 그 밖의 융해 가스성분이 제거됨 | 무수산기자재를 필요로 하는 메탈할로겐화물램프덮개와 그 밖의 용도 |
Ingot
- 적용분야
- 반도체 및 태양광 Wafer 제조용
- 특징
- - 직경 72Inch의 대형 Ingot 제조가능
- 다양한 Size의 Quartz Ware 제조의 효율적임
- 초고순도 및 낮은 열팽창계수
| Type | 특 성 | 용 도 |
|---|---|---|
| 124 Ingot | 직경 72×26인치 두께의 괴로써 투명쿼츠 평판(Plate)과 창자재(Window Material)의 고순도 제품을 만들 때 쓰이며 미세한 포말을 포함할 수도 있다. | 반도체산업을 위한 웨이퍼 Carrier나 Flange로 쓰이며 저가의 상업용 자재 들 다양한 용도로 쓰임 |
| 144 Ingot | 124등급과 비슷하나 알루미늄의 함유량을 낮춤 | 저알루미늄 자재를 선호하는 이용자를 위함 |
| 021 Ingot | 124형과 똑 같은 형의 투명인조 실리카 | 초고순도의 특성으로 중요한 반도체 공정에서 Plate 및 Disc로 가공 사용됨 |